JPC磁控镀膜系列
作者：甘肃真空设备有限公司时间：2022-09-22点击：2680次
※ 系列产品参数
型号项目 | JPC-800L | JPC-1200 | JPC-2000 |
极限真空度 Pa | 5.0×10-4 （清洁、干燥、空载） | ||
恢复真空时间 Pa | 18（从大气～10-2Pa） | ||
基材 | PET、PVC、PE等 | ||
有效镀幅 mm | 800 | 1200 | 2000 |
最大卷径 mm | Φ350～Φ600 | ||
镀膜速度 m/min | 0.5～10 | ||
磁控靶数目 只 | 3～5 | ||
靶材 | ITO、铝、铜、镍、钛、二氧化硅等 | ||
溅射压力 Pa | 1～0.1 | ||
溅射电压 V | 300～600（D.C或MF） | ||
工作气体 | Ar、 O2纯度99.99% | ||
气体流量控制方式 | 质量流量控制器 | ||
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