KTD系列高真空油扩散泵
作者:兰州真空时间:2022-08-02点击:2736次
KTD系列高真空油扩散泵结构为凸腔形,可获得10-2~10-5高真空和超高真空,由于将水冷挡油帽与泵体组成一个整体提高了系统的有效抽速,节省了配置费用,具有抽速大,返油低,结构简单等特点。广泛应用于电子、冶金、真空镀膜、空间模拟等领域。
系列产品参数
型号项目 | K-500TD | K-800TD | K-1000TD | |
极限压力 Pa | ≤5×10-5 | |||
抽气速率 L/s | 单泵 | ≥10000 | ≥24000 | ≥38000 |
挡板 | ≥8000 | ≥20000 | ≥32000 | |
临界前级压力 Pa | ≥40 | |||
返油率 L/s | 单泵 | ≤5×10-3 | ||
挡板 | ≤5×10-4 | |||
加热功率 kW | 6.9 | 15 | 24 | |
电源电压 V | 380 | |||
冷却水用量 L/h | 750 | 1200 | 1500 | |
泵油牌号 | KS-3或275#硅油 | |||
泵油用量 L | 4.4~5 | 10 | 16 | |
推荐前级泵抽速 L/s | 70 | 300 | 300 | |
外形尺寸 (L×W×H) | 1065×680×1285 | 1700×1000×1955 | 2020×1290×2325 | |
重量 kg | 85 | 170 |
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